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本课程起止时间为:2020-03-16到2020-04-12
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第一章 集成电路制造工艺发展概况 第一单元 单元测验

1、 问题:双极型晶体管的制作工艺流程中,首先制备的是                ,其次制备的是                ,最后制备的是                ,依次为:
选项:
A:集电区、基区、发射区
B:基区、发射区、集电区
C:栅区、源区、漏区
D:发射区、基区、集电区
答案: 【集电区、基区、发射区

2、 问题:集成电路的绝缘介质隔离技术中,最常用的介质是          。
选项:
A:二氧化硅
B:氮化硅
C:多晶硅
D:单晶硅
答案: 【二氧化硅

3、 问题:常用的电阻率的测试方法是            
选项:
A:四探针法
B:热探针法
C:三探针法
D:范德堡法
答案: 【四探针法

4、 问题:少数载流子寿命测试方法是            
选项:
A:光电导衰减法
B:四探针法
C:热探针法
D:范德堡法
答案: 【光电导衰减法

5、 问题:确定单晶硅导电类型的方法是            
选项:
A:热探针法
B:四探针法
C:三探针法
D:范德堡法
答案: 【热探针法

6、 问题:为了去除表面的杂质、缺陷,进一步去除硅片表面微量的损伤层,需要进行的工艺是            
选项:
A:CMP
B:研磨
C:倒角
D:化学腐蚀
答案: 【CMP

7、 问题:当前半导体材料 应用最广泛的是            
选项:
A:硅
B:锗
C:砷化镓
D:锗硅材料
答案: 【

8、 问题:硅片制备过程中 常常采用的定向方法是            
选项:
A:光点定向
B:金刚砂
C:CMP
D:研磨
答案: 【光点定向

9、 问题:半导体行业用到的多晶硅纯度一般为            
选项:
A:电子级纯
B:分子级纯
C:原子级纯
D:纳米级纯
答案: 【电子级纯

10、 问题:每立方英尺中所含直径大于0.5um颗粒数量小于1000,那么该环境的洁净等级为            
选项:
A:1000级
B:10000级
C:10级
D:100级
答案: 【1000级

11、 问题:集成电路,按照功能可以为             。
选项:
A:双极型集成电路、MOS集成电路
B:数模混合集成电路
C:数字集成电路
D:模拟集成电路
答案: 【数模混合集成电路;
数字集成电路;
模拟集成电路

12、 问题:集成电路的制造工艺,需要采用隔离技术,常见的隔离方法有         。
选项:
A:外延隔离
B:埋层隔离
C:PN结隔离
D:介质隔离
答案: 【PN结隔离;
介质隔离

13、 问题:制备单晶硅的方法有            
选项:
A:直拉法
B:悬浮区熔法
C:四探针法
D:范德堡法
答案: 【直拉法;
悬浮区熔法

14、 问题:单晶硅生长需要满足的条件            
选项:
A:加热,原子重新排列
B:籽晶
C:过冷温度
D:浓度梯度
答案: 【加热,原子重新排列;
籽晶;
过冷温度

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